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          案例展示

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          助力北大
          助力北大
          北京大學成功制備性能優越的碳納米管CMOS器件。我們提供了關鍵的HfO2高k柵介質低溫制備方案
          助力中科院上海技物所、武漢大學
          助力中科院上海技物所、武漢大學
          中國科學院上海技術物理研究所、武漢大學研究人員在Advanced Functional Materials上發表的關于浮柵結構二維材料光電探測器研究方面取得的進展文章節選。我們研發的TALD-200A型原子層沉積系統在該器件中完成了隧穿和阻隔氧化物的工作,成功助力該光電探測器的研發工作。(文章內的光電探測器的具有很低的背景載流子強度)
          助力復旦
          助力復旦
          復旦大學成功研發世界首個半浮柵晶體管(SFGT),結果發表在《Science》,并有央視1套節目報道。我們提供了關鍵的柵隔離介質薄膜制備設備和工藝方案。
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